深度分析青島激光切割中焦點方位的檢查辦法
激光切割加工具有切割精度高、切割速度快、熱效應低、無污染、無噪音等優點，在汽車、船舶、航空航天和電子工業中都得到了廣泛的應用。而激光切割加工質量與激光焦點與工件之間的相對位置有著密切的關系，保證激光焦點和切割對象之間的公道的相對位置是保證激光切割加工質量的關鍵之一。
2.2電感傳感器檢查電路
由于采用了最新的大規模集成電路，電感傳感器的檢測電路比較簡單，且集成電路采用了新的調制解調方法和算法，減少了以前的檢測外差式調頻檢測電路方法由于傳感器的激勵信號的相角、頻率以及幅值漂移對檢測結果的影響，大大進步了檢測精度和穩定性。
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傳感器信號通過處理后得到與傳感器測頭位移成正比的電壓信號，通過變換電路轉換成相應的頻率信號，通過計算機處理得到了焦點的位置誤差信號。
因為電感傳感器的固有特性，對被測信號的頻率有一定的限制（幾百），不太合用于高速加工場合，同時，因為其為接觸式檢測方式，只能用于平面加工場合。
3切割過程中等離子云對焦點位置檢測系統的影響
在工件尚未被切穿的瞬間，激光和金屬相互作用，在噴嘴和加工對象之間產生云霧狀等離子體，改變電容極板之間的介質，從而對電容傳感器產生干擾。在正常雕刻過程中，輔助氣體將等離子體從切縫中吹散，對電容傳感器產生影響較小。但假如加工速度太快和剛開始雕刻時，因為工件未被完全切穿，激光照射點四周會產生等離子體云，對電容傳感器產生干擾，嚴峻時甚至使傳感器無法正常工作，嚴峻影響加工質量。圖為等離子體干擾示意圖。
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假如等離子體云的厚度為1～2mm,則由電容傳感器檢測的兩極板間間隔的理論誤差也達到1～2mm,顯然達不到激光焦點位置檢測的精度指標（為±0.2mm）。
4傳感器優化設計技術減少等離子云對檢測結果的影響
等離子體對電容傳感器的干擾是由于等離子體改變了電容兩極板之間的介質。因此，為了消除等離子體對電容傳感器的干擾，就要使電容兩極板之間的介質不受等離子體的影響，可以加大圓環形極板的中央小孔和將電容傳感器移至等離子云以外兩種方法來實現。
（1）要消除等離子體對電容量的影響，就要將等離子體置于電容傳感器的極板之外。考慮到等離子云是沿切割點周圍分布的，因此可以如圖5所示：將圓環形極板的中心小孔直徑擴大至2～3mm并嵌入絕緣的耐高溫陶瓷材料，由于電容傳感器極板是空心的，在不考慮邊緣效應的情況下，照射點附近的等離子體云對傳感器電容量和檢測值不產生影響，所以采用這種辦法能有效地減小等離子云的干擾影響。
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（2）對于平面激光切割加工，還可以通過機械傳動方法進行間接測量。即通過一機械裝置跟隨被加工對象運動，將機械裝置的上端和檢測傳感器形成極板，通過檢測傳感器和這個機械裝置之間的距離來間接檢測激光焦點和被加工對象之間的位置。這種方法可以最大限度避免了離子云和噴渣對檢測精度的影響，也發揮了電容傳感器響應迅速的優點。
5結論
激光焦點方位檢查與操控是激光切割加工的要害技能之一，關于迅速切割加工，焦點方位檢查精度和迅速性將直接影響到焦點方位的操控精度和加工質量，電容傳感用具有檢查靈敏度高、呼應迅速的長處，能夠經過計算機體系的線性化來戰勝其非線性；經過特別的傳感器構造來消除加工過程中發生的等離子云和噴渣對檢查成果的影響，前進其在激光切割加工體系中的運用作用。